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半导体材料
电加工技术在半导体产业中发挥着重要作用。硅、锗、砷化镓和碳化硅等半导体材料由于脆性高、塑性低而难以加工。过去采用划片、刀片切割等传统加工方法会造成裂纹、边缘不良、蓝膜损坏等质量问题。放电加工作为一种新型方法通过脉冲放电去除材料，利用受控电脉冲产生的热能从工件中提取材料是半导体材料加工的一种非常有效的方法。具体应用包括晶圆切割辅助工具（如夹具和引线框架模具）的制造，以及利用电火花加工实现半导体材料的复杂曲线切割和型面加工。
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